微电子专业具有综合性和实践性强的特点,加强实验教学改革对培养学生专业实践能力和创新能力具有重要意义。针对微电子专业基础实验课——《半导体工艺检测》实验教学中存在的主要问题,深入分析问题根源,积极探索解决方案。以关注实验教学效果,提高实验教学质量,培养高素质微电子人才为目标,探讨教学内容、教学模式、实验配套设施与师资队伍建设的创新性改革方案,形成以学生为本、产教融合、特色鲜明的教学方法与人才培养体系。