文章摘要:<正>2020年是清华大学微电子学研究所成立40周年,其前身可追溯到1956年设立的清华大学半导体专业,它是国内工科大学第一个半导体专业。1980年8月,为发展以大规模集成电路为核心的微电子学科学技术,清华大学成立了以大规模集成电路为研究主线的微电子学研究所,同时承担专业教学工作。后来又在国内大学中最早开设了研究生微电子封装技术课程,开展微电子封装和可靠性研究。2004年3月,为进一步促进清华大学在微电子与纳电子学科的发展,决定成立清华大学微电子与纳电子学系。经过40年的发展,清华大学微纳电子系/微电子所形成了微纳电子学和集成电路与系统两个研究方向,建立了比较完善的硅基微电子研究体系,培养了大批高素质的优秀人才,已成为我国专门从事微电子和集成电路领域高层次人才培养和科学研究的重要基地。

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